露點儀在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用

測量氣體中的水蒸氣露點溫度的儀器叫做露點儀。露點儀因所使用的冷卻方法和檢測控制方法不同，可以分為多種類型。這里只介紹熱電制冷自動檢測露層的平衡式精密露點儀在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用。

露點儀在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)工藝中起重要監(jiān)測作用。半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)是在凈化間內(nèi)進行的。凈化間規(guī)范往往包括相對濕度（RH）這一項，一年內(nèi)控制點的范圍從35%到65%，精度2%（70℃以下）濕度超標(biāo)會影響產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)計劃的完成。

在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)區(qū)，濕度不穩(wěn)定，會出現(xiàn)很多問題。最典型的問題是烘干期延長，整個處理過程變得難以控制。當(dāng)相對濕度高于35%時，元件易被腐蝕。此外，將顯影液噴在芯片表面時，顯影液迅速揮發(fā)，使芯片表面溫度下降，致使水汽凝結(jié)在芯片表面。凝結(jié)水不但會影響顯影特性，還會吸收到半導(dǎo)體內(nèi)，這將導(dǎo)致膨化及其它質(zhì)量缺陷，還必須增加一些不必要的工藝控制。

TK-100在線露點儀

過去 40 年來，Techne Keisaku Co., Ltd. 一直致力于濕度管理和測量設(shè)備（主要是露點計）。電容式（阻抗式）露點儀TK-100系列是Techne測量有限公司的主打產(chǎn)品，用于測量露點或水分含量。
TK-100在線露點儀是TK-100變送器、監(jiān)視器和傳感器電纜的一套，因此您可以輕松開始測量露點。